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一种用于半导体器件的空穴传输层的制备方法

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专利号 2015104293326 专利名称 一种用于半导体器件的空穴传输层的制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01L51/40;H01L51/48;H01L51/56;H01L21/363
申请人 苏州大学 申请地址 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号
发明人 廖良生;王照奎;张磊 申请日期 2015-07-21
下证状态 未知 更新时间 2023-04-18 08:16:59
专利摘要 本发明提供一种用于半导体器件的空穴传输层的制备方法,其特征在于制备步骤如下第一步:在ITO透明导电基板上通过真空热蒸镀法沉积或者旋涂法涂布主体材料,其中主体材料为NPB、a‑NPD、2‑TNATA、m‑MTDATA、TPD或Poly‑TPD;第二步:在第一步的主体材料表面通过真空热蒸镀法沉积或者旋涂法涂布客体材料,即得用于半导体器件的空穴传输层的制备方法,其中客体材料为F2‑HCNQ或F4‑TCNQ。本发明提供的制备方法使得原本需要通过共蒸掺杂的客体材料通过漂移进入主体材料中,从而达到掺杂的作用。

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