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一种金属氧化物水溶性薄膜的制备方法

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专利号 201410312869X 专利名称 一种金属氧化物水溶性薄膜的制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01L51/48;H01L51/00;H01L51/46
申请人 苏州大学 申请地址 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号
发明人 廖良生;王照奎;许美凤 申请日期 2014-07-02
下证状态 未知 更新时间 2023-04-18 08:12:12
专利摘要 本发明公开了一种金属氧化物水溶性薄膜的制备方法,包括以下步骤:(1)将粉末状金属氧化物溶解在去离子水中得到混合溶液;(2)将上述混合溶液旋涂在基片表面上,退火得到金属氧化物水溶性薄膜;其中步骤(1)中所述金属氧化物选自MoO3、V2O5、GeO2、SrO2、CrO3中的一种,其优点在于,不仅制备方法简单,成本低廉,对环境友好且对于含该金属氧化物水溶性薄膜的器件与传统的器件相比,性能相当或更好,其稳定性也更好,从而克服了现有技术中溶解度较低影响其成为空穴注入层或其他的作用层的技术偏见,即溶解度较低并不影响它们成为空穴注入层或其他的作用层。

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