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基于SPiN二极管的频率可重构套筒偶极子天线制备方法

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  • 201611183890X

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专利号 201611183890X 专利名称 基于SPiN二极管的频率可重构套筒偶极子天线制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01L21/04;H01L21/265;H01L21/329;H01Q1/38;H01Q23/00
申请人 西安科锐盛创新科技有限公司 申请地址 陕西省西安市高新区高新路86号领先时代广场(B座)第2幢1单元22层12202号房51号
发明人 左瑜;张亮 申请日期 2016-12-20
下证状态 已下证 更新时间 2026-07-13 19:59:59
专利摘要 本发明涉及一种基于SPiN二极管的频率可重构套筒偶极子天线制备方法。该方法包括:在半导体基片上按照天线的结构特征制作SPiN二极管;采用半导体工艺将多个SPiN二极管的P+接触区及N+接触区依次串接形成多个SPiN二极管串;制作连接SPiN二极管串与电源的直流偏置线;采用半导体工艺对SPiN二极管串进行制作形成SPiN二极管天线臂、第一SPiN二极管套筒及第二SPiN二极管套筒;制作同轴馈线以连接SPiN二极管天线臂、第一SPiN二极管套筒及第二SPiN二极管套筒最终形成天线。通过金属直流偏置线控制SPiN二极管导通时形成的等离子天线臂及套筒长度以实现天线工作频率的可重构。本发明的天线具有易集成、可隐身、频率可快速跳变的特点。

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卖方 企业营业执照
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身份证
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