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一种硅基集成曝光量测量器件
院校-
发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
2017107437253
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2017107437253 | 专利名称 | 一种硅基集成曝光量测量器件 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G03F7/20 |
| 申请人 | 长安大学 | 申请地址 | 陕西省西安市雁塔区二环南路中段126号 |
| 发明人 | 文常保;姚世朋;全思;朱玮;洪吉童;李演明;巨永锋 | 申请日期 | 2017-08-25 |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-07-26 06:26:32 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种硅基集成曝光量测量器件，包括半导体衬底，半导体衬底上从下至上依次设置有绝缘层、导电金属层、金属氧化物结构、导电金属结构、光敏材料层、保护层；金属氧化物结构包括对称设置在导电金属层上的第一金属氧化物块和第二金属氧化物块；导电金属结构包括设置在第一金属氧化物块上的第一导电金属块和设置在第二金属氧化物块上的第二导电金属块；保护层上设置有第一金属电极、第二金属电极和第三金属电极，所述第一金属电极、第二金属电极和第三金属电极均贯穿保护层，其中第二金属电极与光敏材料相接触，第一金属电极和第三金属电极均与绝缘层相接触。本发明可集成且作为独立器件使用，具有应用范围广和使用方便的优点。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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