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一种MIM电容器结构的制造方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2017100977265
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2017100977265 | 专利名称 | 一种MIM电容器结构的制造方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L23/64;H01L21/70 |
| 申请人 | 新昌县诺趣智能科技有限公司 | 申请地址 | 江苏省南通市高新区新世纪大道266号江海智汇园 |
| 发明人 | 王汉清 | 申请日期 | 2017-02-22 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-05-27 10:06:57 |
| 专利摘要 | 本发明提供了一种MIM电容器结构的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）提供半导体衬底，具有相对的上表面和下表面，在所述上表面上具有多个功能器件；（2）形成隔离沟槽，所述隔离沟槽设置在所述半导体衬底中并位于所述功能器件之间；（3）在隔离沟槽中形成MIM电容器。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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