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一种氮化硼刻蚀的方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2017100436531
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2017100436531 | 专利名称 | 一种氮化硼刻蚀的方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C16/455,C23C16/34,C23C16/56 |
| 申请人 | 江苏中商碳素研究院有限公司 | 申请地址 | 江苏省徐州市沛县经济开发区沛公路北侧、汉润路东侧（科技创业园） |
| 发明人 | 金圣忠 | 申请日期 | 2017-01-19 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-05-27 10:06:04 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种氮化硼刻蚀的方法；本发明采用压印法以表面有图案的聚二甲基硅氧烷(PDMS)模板为印章，将氧化石墨烯溶液转印到氮化硼薄膜表面，然后在硫化钼蒸气中在一定温度下保温一定时间，在氮化硼表面刻蚀出图案，完成PDMS表面的图案向氮化硼表面的转移。本发明通过二硫化钼蒸气催化分解氮化硼，降低了氮化硼光刻条件，方法简单、方便和可操作性强。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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