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一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2015104471588
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2015104471588 | 专利名称 | 一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C18/12 |
| 申请人 | 申请地址 | 陕西省西安市未央区大学园1号 | |
| 发明人 | 申请日期 | 2015-07-27 | |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-05-27 09:44:35 |
| 专利摘要 | 本发明公开一种化学溶液沉积法制备Sm<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜的方法，包括：将分析纯的Sm(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·6H<sub>2</sub>O溶解于乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm<sup>3+</sup>浓度为0.1～0.5mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂，室温下搅拌均匀形成透明均匀稳定的淡黄色溶液；滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以旋涂镀膜至均匀；将匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上烘干后放入小型快速退火炉内于200～500℃进行退火；退火完成后随炉冷却至室温，再重复旋涂退火工艺，直至Sm<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜达到所需厚度。该反应的原料易得且成本低，工艺设备简单，溶胶粒径均匀，能耗低，且该反应在常温常压下进行，安全性好，可行性强。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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