发明专利
专利类型未知
专利状态2015100733609
专利号专利号 | 2015100733609 | 专利名称 | 微机械超小型压阻式压力传感器及其制造方法 |
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专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01L9/06,B81B7/02,B81C1/00 |
申请人 | 苏州亘科医疗科技有限公司 | 申请地址 | 江苏省苏州市常熟市高新技术产业开发区东南大道68号1幢 |
发明人 | 漆斌 | 申请日期 | 2015-02-11 |
下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-05-27 09:42:17 |
专利摘要 | 本发明提供了在硅晶片制造一个或多个超小型压阻式压力传感器的方法。压阻式压力传感器的膜片是熔融粘结形成。压阻式压力传感器可以由硅沉积、光刻和蚀刻工艺形成。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
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企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 |
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