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飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2012103039095
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2012103039095 | 专利名称 | 飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | B81C1/00 |
| 申请人 | 常熟市知识产权运营中心有限公司 | 申请地址 | 江苏省苏州市常熟市常福街道联丰路68号4号楼5楼 |
| 发明人 | 周广宏 | 申请日期 | 2012-08-24 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-05-27 09:34:32 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种利用飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法，包括以下步骤：（1）按衬底、缓冲层、磁性层、保护层的顺序沉积制作磁性薄膜；（2）利用飞秒激光作为光源，通过计算机精确控制样品台的位置，对磁性薄膜进行无掩膜辐照，得磁敏感微结构单元；其中，飞秒激光的参数为：单脉冲能量5～50μJ；脉冲宽度90～150fs；波长800nm；脉冲频率10～100Hz；样品台移动速度为60～500μm/min；在辐照时根据需要沿平行或垂直于磁性薄膜膜面方向施加0~500Oe的诱导磁场。本方法简单、高效、可控，且无需预先制造掩模。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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