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基于纳米森林的MEMS超级电容及其制备方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2021108251934
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2021108251934 | 专利名称 | 基于纳米森林的MEMS超级电容及其制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01G11/36,H01G11/86 |
| 申请人 | 江苏创芯海微科技有限公司 | 申请地址 | 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112 |
| 发明人 | 陈贵东 | 申请日期 | 2021-07-21 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-05-27 08:53:36 |
| 专利摘要 | 本发明涉及一种基于纳米森林的MEMS超级电容及其制备方法。按照本发明提供的技术方案，所述基于纳米森林的MEMS超级电容，包括电容基底、与所述电容基底适配的纳米森林结构以及与纳米森林结构适配连接的电容单元体，所述电容单元体包括依次淀积设置在纳米森林结构内的下电极层、电容介质层以及上电极层，上电极层与下电极层间通过电容介质层绝缘隔离；下电极层与电容基底欧姆接触，通过下电极层与电容基底配合能得到MEMS电容的下电极；通过上电极层以及与所述上电极层电连接的上电极引出单元能形成MEMS电容的上电极。本发明能与现有工艺兼容，制备得到的电容具有大的容量体积比，高电容密度，同时成本低廉。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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