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一种机台污染监测装置及加工设备
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2020112480819
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2020112480819 | 专利名称 | 一种机台污染监测装置及加工设备 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L21/67 |
| 申请人 | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 | 申请地址 | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 发明人 | 蔡明堂 | 申请日期 | 2020-11-10 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-05-27 08:50:53 |
| 专利摘要 | 一种机台污染监测装置及加工设备，涉及半导体加工设备技术领域。该机台污染监测装置包括多个监测模组和分别与监测模组电连接的控制器，多个监测模组分别被配置于加工设备的多个操作机台内，用于采集每个操作机台内的污染物信息，控制器用于接收每个监测模组采集的污染物信息，并根据每个操作机台的污染物信息判定每个操作机台是否处于污染状态。该机台污染监测装置能够提高机台的污染检查效率。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 |
专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
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| 买方 |
企业营业执照 企业组织机构代码证 |
身份证 | ||
| 卖方 |
企业营业执照 专利证书原件 |
身份证 专利证书原件 |
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服务保障
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