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一种增量式小量程位移传感器及测量方法

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专利号 2016103351526 专利名称 一种增量式小量程位移传感器及测量方法
专利类型 发明专利 国际分类 G01B11/02
申请人 泰安泰山科技有限公司 申请地址 山东省泰安市高新区南天门大街中段高端人才创业基地
发明人 张白 申请日期 2016-05-19
下证状态 未知 更新时间 2025-05-27 08:36:26
专利摘要 本发明公开了一种增量式小量程位移传感器及测量方法,该传感器包括激光束、两块反射镜间、分布式光电探测器和处理系统。运用该传感器,通过激光束在一组平行设置的两块反射镜间不断反射,最终照射到分布式光电探测器上,改变两块反射镜的间距,即会改变激光束的反射路径,分布式光电探测器上的探测部件一、探测部件二和探测部件三多次感应激光束,处理系统根据探测部件接收到激光束的次数以及探测部件间的间距处理得到一个探测值,这个探测值大于两块反射镜间距的真实改变值,处理系统能够通过这个探测值来计算出两块反射镜间距的真实改变值,该传感器结构简单,适用于被测物体位移变化的测量,测量可靠,精度较高,易于实现批量制造。

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专利证书原件
身份证
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