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一种采用激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法

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专利号 2015108524137 专利名称 一种采用激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法
专利类型 发明专利 国际分类 G01B11/02,G01B9/02
申请人 申请地址 四川省成都市西南航空港经济开发区学府路一段24号
发明人 申请日期 2015-11-27
下证状态 未知 更新时间 2025-05-27 08:11:44
专利摘要 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法,所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜,所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置,所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中,将被测物体实际位移中超出半个激光波长小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中,进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确,同时精密位移装置进行若干整数波长精确位移,通过精确的距离反求环境等效激光波长,进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。

交易流程

转让材料

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专利证书
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企业组织机构代码证
身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
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服务保障

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