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一种紫外光化学水浴沉积法制备硫化镉薄膜或硫化锌薄膜的方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
201510186561X
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 201510186561X | 专利名称 | 一种紫外光化学水浴沉积法制备硫化镉薄膜或硫化锌薄膜的方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C18/14(2006.01) |
| 申请人 | 申请地址 | 524048广东省湛江市赤坎区寸金路29号 | |
| 发明人 | 申请日期 | 2015-04-20 | |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-13 08:00:27 |
| 专利摘要 | 本发明涉及半导体光电材料技术领域，提供了一种紫外光化学水浴沉积法制备硫化镉薄膜或硫化锌薄膜的方法。本发明将金属源CdSO<sub>4</sub>或ZnSO<sub>4</sub>、络合剂、含S<sub>2</sub>O<sub>3</sub><sup>2-</sup>的硫源、H<sub>2</sub>SO<sub>4</sub>溶液混合，调节H<sub>2</sub>SO<sub>4</sub>溶液的加入量使混合液pH≥3.5，将衬底浸渍于混合液中，并保持液面与衬底的上底面的距离为2~5mm，紫外光照射，衬底上形成硫化镉或硫化锌薄膜。本发明首次采用紫外光化学水浴方法制备硫化镉或硫化锌薄膜，对比传统化学浴法，紫外光化学水浴法只在光照的位置发生反应而沉积薄膜，通过控制紫外光源光斑的位置和形状即可控制薄膜形状，通过光照时间控制薄膜厚度，材料利用率高，产生的废液也少很多，制备得到无针孔、均匀一致的高质量薄膜。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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