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采用基于短腔腔增强关联光谱技术测量气体浓度的装置测量气体浓度的方法

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  • 2013107381669

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专利号 2013107381669 专利名称 采用基于短腔腔增强关联光谱技术测量气体浓度的装置测量气体浓度的方法
专利类型 发明专利 国际分类 G01N21/39
申请人 哈尔滨工业大学高新技术开发总公司 申请地址 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街118号
发明人 娄秀涛 申请日期 2013-12-29
下证状态 未知 更新时间 2025-01-11 09:22:05
专利摘要 采用基于短腔腔增强关联光谱技术测量气体浓度的装置测量气体浓度的方法,涉及激光吸收光谱领域。本发明是为了解决现有的腔增强TDLAS技术中出现的稳定性差、成本高和体积大的问题。经过信号调制器调制的多模激光器发出的激光,经过分光镜分成两束,一束激光经过参考气池后被参考探测器接收,另外一束激光穿过光隔离器、前置光阑、后置光阑以及两端均设置有高反射镜的高反射腔样品池后由样品探测器接收,两路探测器信号均输入到数据采集处理器进行分析处理,最后得到待测气体的浓度。本发明适用于测量痕量气体浓度。

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