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一种单晶硅基异质结太阳能电池及其制备方法

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  • 2016107853682

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专利号 2016107853682 专利名称 一种单晶硅基异质结太阳能电池及其制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 B82Y20/00,B82Y30/00,H01L31/18,H01L31/076,H01L31/0352
申请人 申请地址 陕西省西安市长安南路199号
发明人 申请日期 2016-08-30
下证状态 未知 更新时间 2025-01-10 08:32:18
专利摘要 本发明一种单晶硅基异质结太阳能电池及其制备方法,所述电池包括依次层叠的ITO层、a‑Si p层、a‑Si i层、基底、a‑Si i层、a‑Si n层和ITO层,以及在ITO层和a‑Si p层间插入高掺杂的a‑Si p+层,或在ITO层和a‑Si n层间插入高掺杂的a‑Si n+层。所述方法将基底在等离子增强化学气相沉积设备中,分步进行异质结太阳能电池的a‑Si i层、a‑Si n层和a‑Si p层沉积;在电池的a‑Si p/ITO层界面或a‑Si n/ITO层界面中沉积高掺杂的a‑Si p+层或高掺杂的a‑Si n+;最后沉积ITO电极得到硅基异质结太阳能电池。

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