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用于评估互连结构的特性的方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2018103019718
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2018103019718 | 专利名称 | 用于评估互连结构的特性的方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L21/67 |
| 申请人 | 北方工业大学 | 申请地址 | 北京市石景山区晋元庄路5号 |
| 发明人 | 闫江 | 申请日期 | 2018-04-04 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-10 07:13:15 |
| 专利摘要 | 本发明提供了一种评估互连结构的特性的方法。所述方法包括以下步骤：测量所述互连结构中的包括阻挡层和低介电常数材料层的叠层体的椭偏光学参数；采用双层模型对所测得的叠层体的椭偏光学参数结果进行拟合，以计算所述叠层体中的低介电常数材料层的特征值；将低介电常数材料的原始特征值和计算得到的所述叠层体中的低介电常数材料层的特征值进行比较；根据比较结果评估所述叠层体中的杂质的量。本发明的方法简单、快速且无损。而且，相比于现有技术，本发明的方法不仅可以提供有关金属渗透的信息，还可以提供关于低k损伤和水分吸附的信息。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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