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原位观察铁电材料在电场作用前后电畴结构的装置及方法

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专利号 2015102680875 专利名称 原位观察铁电材料在电场作用前后电畴结构的装置及方法
专利类型 发明专利 国际分类 G01Q60/00
申请人 重庆科技学院 申请地址 重庆市沙坪坝区虎溪大学城重庆科技学院
发明人 高荣礼;符春林;蔡苇;邓小玲;陈刚 申请日期 2015-05-22
下证状态 未知 更新时间 2025-05-27 09:43:42
专利摘要 本发明公开了一种原位观察铁电材料在电场作用前后电畴结构的装置及方法,该装置主要是在设置有下电极的铁电薄膜的表面生长了一层绝缘层,绝缘层上设置有至少一个电极孔,每个电极孔所包围的铁电薄膜作为一个观察其在电场作用前后电畴结构的观察点。观察时,上电极填入其中一个电极孔,电压施加于该上电极和下电极之间对该上电极所覆盖的铁电薄膜进行极化。本发明能够对铁电薄膜施加不同电压,同时,将上电极设计为容易从电极孔去除的,就能保证铁电薄膜的同一观察点施加不同电压,原位观察到铁电薄膜在不同电场作用前后电畴结构在纵向上的变化情况。

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