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一种基于润湿性调控的微纳自组装结构制备方法

科研院所
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  • 2017100272724

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专利号 2017100272724 专利名称 一种基于润湿性调控的微纳自组装结构制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 B23K26/362;B81C1/00;B82Y40/00
申请人 温州大学激光与光电智能制造研究院 申请地址 浙江省温州市瓯海经济开发区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器
发明人 曹宇;何安;薛伟;刘文文;杨焕;孙轲;赵秀菊 申请日期 2017-01-13
下证状态 未知 更新时间 2025-05-27 10:05:58
专利摘要 本发明提供了一种基于润湿性调控的微纳自组装结构制备方法,包括如下步骤:通过激光填充刻蚀在基底表面的微纳自组装结构图形内部制备出具有微纳粗糙结构的微纳自组装结构图形;将基底表面用N‑异丙基丙烯酰胺薄膜改性;将第一步中未填充扫描过的区域,采用脉冲激光束扫描抛光工艺,进行填充抛光,使得被扫描区域的N‑异丙基丙烯酰胺薄膜被烧蚀而完全去除且其表面粗糙度小于激光填充刻蚀所获得的微纳粗糙结构的表面粗糙度,从而制备出一种自定义图形化的微纳自组装结构。相比传统基于IC工艺的微纳自组装结构制备工艺,本发明所述的方法具有步骤简单、工艺成本低、效率高的优点,尤其适合于单件/小批量、自定义的微纳自组装结构样品制备。

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转让材料

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身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
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