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一种在工件表面制备微纳二维结构的加工方法及装置

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专利号 2019101197861 专利名称 一种在工件表面制备微纳二维结构的加工方法及装置
专利类型 发明专利 国际分类 C25D5/02;C25D5/04;C25D5/18;C25D21/10
申请人 江苏大学 申请地址 江苏省镇江市京口区学府路301号
发明人 徐坤;王虹;张朝阳;朱浩;戴学仁;顾秦铭;蒋雯;曹增辉 申请日期 2019-02-18
下证状态 未知 更新时间 2025-05-27 08:11:40
专利摘要 本发明公开了一种在工件表面制备微纳二维结构的加工方法及装置,属于特种加工领域。该方法在加工过程中采用激光烧蚀与电化学沉积相耦合的方法,激光束聚焦在工件基板表面,通过数控系统控制激光烧蚀的区域和路径,在工件基板表面加工出微米级结构;激光烧蚀的同时,工具阳极保持正对烧蚀区域,在工件基板该区域微米结构上沉积出纳米结构。为了将阳极电场最大限度的约束在电极顶端区域,将工具阳极穿入绝缘玻璃管内实现侧壁绝缘。另外,激光的热‑力效应使辐照区域溶液温度升高,同时产生强烈的搅拌作用,加快沉积液的循环流动更新,促进纳米结构的快速高效生长。本发明适用于零部件表面的微纳二维结构的高效加工和制造。

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