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一种叠层蒸发源装置
院校-
发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2019107055652
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2019107055652 | 专利名称 | 一种叠层蒸发源装置 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L31/0392;C23C14/24;H01L31/18;C23C14/06 |
| 申请人 | 河南城建学院 | 申请地址 | 河南省平顶山市新城区明月路 |
| 发明人 | 李青霄;张心会 | 申请日期 | 2019-07-31 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2022-10-29 08:03:45 |
| 专利摘要 | 本发明提供了一种叠层蒸发源装置，第一冷却盒和第二冷却盒之间安置硒蒸发层，第二冷却盒上方安置金属蒸发层，所述硒蒸发层的硒蒸气管道贯穿第二冷却盒和金属蒸发层，本发明能够采用精准释放硒蒸汽质量束流提高原料利用率、硒分子团高温裂解为硒原子释放硒活性，提高膜厚均匀性，简化蒸发源装置结构、降低设备维护成本，兼容柔性和刚性基底蒸镀沉积，以此实现Cu、In、Ga、Se四种元素在薄膜的纵向和横向上的分布均匀性，充分释放硒活性、兼容柔性和刚性基底生长优质铜铟镓硒薄膜。本发明结构简单，降低能耗，易于维护，减少腔室脏污，降低腔室维护成本，缩短生产周期，进而提高效益。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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